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夜谈。
根据光刻机制造需满足“设备精度>客户制程精度”的铁律:若设备厂洁净度低于晶圆厂,组装的机器将自带缺陷。
光刻机制造容许的微粒尺寸比晶圆厂还要低,另外还需要防微震,恒温恒湿系统。
零零散散算下来,一个2000平米的洁净厂房,加上测量实验室,装配线设备,镜片激光管等消耗品备件库存,3.5亿。
这份粗算,对比上海微电子的初期投入是差不多的。
不过研发费和人才团队投入可就无上限了。
涉及光源系统研发的话,初期成本至少倍增,后期成本高数倍。
大家讨论半天也没一个完全懂行的,但达成了一个较为可行的机制共识:等有了专家团队以后,让专家组把技术拆解分配,而后